Шеткі жартылай өткізгіш жабдықтарға EUV конкурсы кедергі келтіреді

Tokyo Electronics-тің артықшылығы - «Coater Developer». Бұл жабдық арнайы химиялық сұйықтықты кремний вафлиіне оны жасау үшін жартылай өткізгіш материал ретінде жабу үшін қолданылады. EUV жаппай өндіріске арналған жабдықтар саласында компанияның нарықтағы үлесі 100% құрайды. Осы қаржы жылына шоғырландырылған сату 1,28 трлн иенге жетеді деп күтілуде. Мұның 10% -дан астамы зерттеу және әзірлемелер үшін EUV-дің популяризация сатысында алдыңғы қатарды бекіту үшін қолданылады.

Жылына 6 триллион иеннен асатын жартылай өткізгіш құрал-жабдықтар нарығында ұрпақты өзгерістер жүруде.

Жартылай өткізгіштің электр тізбегінің ені неғұрлым жұқа болса, соғұрлым өнімділік соғұрлым жоғары болады және қазіргі кескіш өнім 5 нанометрді құрайды. Осындай жұқа схеманы кремнийден жасалған вафлиге беру үшін EUV литография машинасы қажет. Әлемдегі жаппай өндірілетін EUV әдісі ASML жеткізілімдерінің ұлғаюымен, сонымен қатар жабу және жарық көздері сияқты перифериялық жабдықты дамыту бәсекесі басталды.

Ұрпақтардың өзгеруінің белгісі - Lasertec жабдықтарының өндірушісі. Егер бастапқы электр тақтасы ретінде фотомаскте ақаулар болса, жартылай өткізгіштің ақаулық деңгейі сәйкесінше артады. Компания EUV қолдайтын сынақ жабдықтарын шығарады және 2019 жылдың шілдесінен 2020 жылдың наурызына дейін оның тапсырысы өткен жылдың сәйкес кезеңімен салыстырғанда 2,2 есе өсіп, 65,8 млрд иенге жетті. Жыл сайынғы тапсырыстың үштен екісі EUV-мен байланысты болады деп күтілуде.

Сонымен қатар, жапондық компаниялар арасында да қақтығыстар орын алуда. Электрондық сәулелік маска жазу машиналары саласында Toshiba's NuFlare Technology JEOL және IMS NANOFABRICATION (Австрия) арасындағы одақтастыққа ұмтылуда. 260,000 лазер сәулелерін қолдана отырып, «Multi-Beam» технологиясын дамытуға баса назар аударылады.

Қаңтарда Toshiba HOYA-ны тоқтатып, жау TOB (ашық тендерлік ұсыныс) шығарды және Ниу Фулайға бақылауды күшейтті. Жаңадан жіберілген 25 техник маман және т.б. 2020 жылы EUV қолдайтын жаңа буын литография жабдықтарын жеткізуді жоспарлап отыр.

Гигапотон (Тояги префектурасы Ояма-Ситиде орналасқан), лазерлік көздерді шығаратын Комацудың еншілес компаниясы қайта оралуды асыға күтуде. EUV пайда болғанға дейін компания литографиялық машиналар үшін жарық көздері саласындағы алғашқы екі қатарға кірді. Алайда, ASML арқылы бәсекелес сатып алу сияқты себептерге байланысты қазіргі уақытта ол өзінің қатысуын жоғалтады. Гигапотон нарықтағы үлесті қайтару үшін ASML келесі буындық жабдықты іске қоспас бұрын жоғары қуаттағы жарық көздерінің компоненттерін жасауға тырысады.

Компанияларға EUV жабдықтарын дамытуды жеделдетуге арналған негіз Оңтүстік Кореяның Samsung Electronics және TSMC компаниясы бастаған миниатюралық байқау болып табылады. 5G сияқты жоғары өнімді жартылай өткізгіштерге сұраныс күшті және екі компания ASML литографиялық машинасы үшін құны 20 миллиард иеннен асатын бәсекеге түседі. Бұл процесте айналадағы жабдықтар өндіретін компаниялардың бизнес мүмкіндіктері де кеңейеді.

Халықаралық жартылай өткізгіш жабдықтар мен материалдар ассоциациясының (SEMI) және Жапонияның жартылай өткізгішті өндіретін жабдықтар қауымдастығының (SEAJ) статистикасы Жапонияда жасалған жартылай өткізгіш өндіретін жабдықтардың нарықтық үлесі 2019 жылы 31,3% құрады, ол өткен жылдары шамамен 30% құраған. 20 жыл.

Литографиялық жабдықтар саласында Nikon және Canon бұған дейін әлемдік нарықты бағындырды, бірақ ASML-мен бәсекелестікте сәтсіздікке ұшырады және EUV дамуында артта қалды. Жартылай өткізгіш өрісінде, өндіріс процесі қиындаған сайын, жеңімпаз-бәрін қабылдау үрдісі артып келеді. Мүмкіндік ретінде EUV-ді ескере отырып, ұрпақтың өзгеруі жабдық шығаратын компаниялардың өмір сүруін тездетеді.

«Құрлықтағы нарықтағы заманауи жабдықтарға инвестициялар тоқтатты», - деп EUV-ға қатысты бөлшектер мен бөлшектерді шығаратын компаниялардың басшысы қолын созды. Голландия үкіметі оны мақұлдамағандықтан, ASML материкке EUV литография машиналарын экспорттай алмады. Сонымен қатар, перифериялық жабдықтар мен бөлшектерді сатып алу да тоқтатылған.

Мұның артында Қытай мен АҚШ арасында сауда-саттықта кикілжің бар. Егер ASML жабдығын импорттау мүмкін болмаса, материктік жартылай өткізгіш өндірушілер миниатюралық бәсекеден артта қалады. Материктің үкіметі жартылай өткізгіштердің өзін-өзі қамтамасыз ету деңгейі 2020 жылға қарай 40% -ға және 2025 жылға қарай 70% -ға жетеді деген мақсат қояды, бірақ оған жету қиын. Көптеген пікірлер бойынша АҚШ Голландия үкіметіне оны санкциялар қаруы ретінде қолдануға қысым жасады деп санайды.

Халықаралық жартылай өткізгіш жабдықтар мен материалдар ассоциациясының статистикасы 2019 жылы жартылай өткізгіштің өндірістік жабдықтар нарығы 59,7 млрд. АҚШ долларын құрап, 2014 жылмен салыстырғанда 59% -ға артты. Осы кезең ішінде материктік нарық өзінің қатысуын және әлемдегі үлесін арттырды. жалпы нарық 2014 жылғы 11,6% -дан 22,5% -ға дейін өсті. Жапондық жартылай өткізгіш жабдықтар өндіретін компаниялар үшін материк нарыққа айналды, оны елемеу қиын.

EUV технологиясын дамыту қиын, және барлық компаниялардың ғылыми-зерттеу жұмыстарына шығындар артып келеді. Егер нарық бұдан әрі кеңеймесе, кәсіпорындардың инвестициясынан қайтарым кешіктіріліп, жаңа технологияларды дамыту қиынға соғуы мүмкін.